光譜學(xué)是測(cè)量紫外、可見(jiàn)、近紅外和紅外波段光強(qiáng)度的技術(shù)。光譜測(cè)量被廣泛應(yīng)用于多種領(lǐng)域，如顏色測(cè)量、化學(xué)成份的濃度測(cè)量或輻射度學(xué)分析、膜厚測(cè)量、氣體成分分析等領(lǐng)域。 A
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      在上世紀(jì)九十年代以來(lái)，微電子領(lǐng)域中的多象元光學(xué)探測(cè)器（例如CCD，光電二極管陣列）制造技術(shù)迅猛發(fā)展，使生產(chǎn)低成本掃描儀和CCD相機(jī)成為可能。德國(guó)MUT公司的光譜儀使用了同樣的CCD(CCD光譜儀)和光電二極管陣列探測(cè)器，可以對(duì)整個(gè)光譜進(jìn)行快速掃描，不需要轉(zhuǎn)動(dòng)光柵。 g':/hlQ  
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