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[求助]請(qǐng)問trace pro 適合的最小結(jié)構(gòu)尺寸？ [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2006-05-25

trace pro 是用什么方法做光學(xué)分析的，幾何光學(xué)還是波動(dòng)光學(xué)？
trace pro 適合的最小尺寸是多少，幾百納米的結(jié)構(gòu)也適用嗎？