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    [求助]關(guān)于鍍膜設(shè)備的問(wèn)題 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2012-03-08
    打開(kāi)擴(kuò)散泵后發(fā)現(xiàn)里面有很多像砂子一樣的東西,是油的質(zhì)量不好還是蒸發(fā)室的膜料被抽到擴(kuò)散泵了?哪位高人給我分析一下?我們用的是高真空硅油。
     
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    離線yzhuang
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2012-03-13
    膜料的可能性較大,但是我覺(jué)得不影響擴(kuò)散泵的功用。
    離線tomysmith68
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2012-03-27
    這些一部分是真空室里的空氣灰塵,還有一部分是膜料,經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的高溫后,被碳化了,所以看上去像砂子,在正常使用時(shí)不太會(huì)影響真空速度,但是每年必須清理一次。