摘要： C5V}L
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研制了一種在衍射光變圖像器件上進(jìn)行信息存儲(chǔ)的新型數(shù)字化激光光刻系統(tǒng)。采用空間光調(diào)制器作圖形自動(dòng)輸入，雙遠(yuǎn)心投影成像系統(tǒng)在光刻記錄面上縮微圖形。通過(guò)光柵干涉光學(xué)頭對(duì)記錄面上的微圖形進(jìn)行干涉調(diào)制， 使微圖形上產(chǎn)生干涉條紋，條紋空間頻率范圍為500～1200 lp/mm。在光刻膠干版上的存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)表明，在衍射光變圖像上的單角度存儲(chǔ)信息密度大于3.7 Mbit/cm2。改變干涉條紋取向、條紋間隔和需要存儲(chǔ)的圖形，光刻系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)信息的旋轉(zhuǎn)復(fù)用存儲(chǔ)。上述光刻系統(tǒng)將會(huì)在防偽和衍射光變圖像器件制造領(lǐng)域有良好應(yīng)用。 FhY#3-jH
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