摘要： ,,h>_IA
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研制了一種在衍射光變圖像器件上進行信息存儲的新型數字化激光光刻系統(tǒng)。采用空間光調制器作圖形自動輸入，雙遠心投影成像系統(tǒng)在光刻記錄面上縮微圖形。通過光柵干涉光學頭對記錄面上的微圖形進行干涉調制， 使微圖形上產生干涉條紋，條紋空間頻率范圍為500～1200 lp/mm。在光刻膠干版上的存儲實驗表明，在衍射光變圖像上的單角度存儲信息密度大于3.7 Mbit/cm2。改變干涉條紋取向、條紋間隔和需要存儲的圖形，光刻系統(tǒng)可實現信息的旋轉復用存儲。上述光刻系統(tǒng)將會在防偽和衍射光變圖像器件制造領域有良好應用。 ]OC?g2&6
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