菲索干涉儀器球面標準鏡參考文獻，很不錯的說。 G0xk @SE  
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摘 要：在高精度的光學元件面形檢測中,為了保證檢測的精度,必須對高精度菲索干涉儀的標準鏡的自重和溫度變形進行嚴格地控制。針對高精度菲索干涉儀標準鏡的精度要求, 設計了一種新的標準鏡裝卡結構。采用有限元方法分析了標準鏡在膠接方式下的表面變形情況,參考面表面變形峰谷( PV)值僅為9. 6nm , 均方根( RMS) 值為2. 1nm。同時對不同環(huán)境溫度下參考面的變形進行了計算得出面形的峰谷值和均方根值。最后介紹球面標準具的裝配過程。 -