一.激光干涉 ~JBQjb
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1.原理 Ot/Y?=j~  
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  高頻的激光脈沖輸入下，依靠入射激光和反射激光的相位差來測量工件的瞬間位移變化，瞬間位移變化量的疊加可以描述工件輪廓的狀況。照射到工件表面光斑直徑保持為200微米左右，足夠大的參考光斑可以給干涉儀提供穩(wěn)定的參考信號。 )~WxNn3rx  
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2.國內(nèi)外研究 txliZ|.O  
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國內(nèi)：四川大學激光應用技術(shù)研究所, 周肇飛教授領(lǐng)導的課題組 。 $<T)_g  
國外：美國的ZYGO ,WYKO 型的光干涉式輪廓儀, 英國NPL 的雙焦物鏡輪廓儀 。 RJGf@am&  
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3.干涉技術(shù)展望 C~:aol i;  
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用于在線檢測的高分辨干涉測量設(shè)備由于要適應直接放在精密機床上工作的較嚴酷條件, 又要調(diào)整快捷, 在靈敏度方面作了一定犧牲。不過, Ra 優(yōu)于0. 2nm 的分辨力對于超精密加工在線檢測已完全滿足要求并有一定儲備。如果確有更高的要求, 該領(lǐng)域尚有進一步提高靈敏度的潛力, 基于同樣原理的實驗室用輪廓儀已經(jīng)做到分辨力優(yōu)于0. 02nm。 V&qXsyg  
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