一.激光干涉 D)ZG
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1.原理 Ydw04WEJ  
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  高頻的激光脈沖輸入下，依靠入射激光和反射激光的相位差來測(cè)量工件的瞬間位移變化，瞬間位移變化量的疊加可以描述工件輪廓的狀況。照射到工件表面光斑直徑保持為200微米左右，足夠大的參考光斑可以給干涉儀提供穩(wěn)定的參考信號(hào)。 GS%ACk  
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2.國(guó)內(nèi)外研究 [/B$cH  
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國(guó)內(nèi)：四川大學(xué)激光應(yīng)用技術(shù)研究所, 周肇飛教授領(lǐng)導(dǎo)的課題組 。 mT@8(  
國(guó)外：美國(guó)的ZYGO ,WYKO 型的光干涉式輪廓儀, 英國(guó)NPL 的雙焦物鏡輪廓儀 。 z3V[ Vi  
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3.干涉技術(shù)展望 %QW1?VVP  
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用于在線檢測(cè)的高分辨干涉測(cè)量設(shè)備由于要適應(yīng)直接放在精密機(jī)床上工作的較嚴(yán)酷條件, 又要調(diào)整快捷, 在靈敏度方面作了一定犧牲。不過, Ra 優(yōu)于0. 2nm 的分辨力對(duì)于超精密加工在線檢測(cè)已完全滿足要求并有一定儲(chǔ)備。如果確有更高的要求, 該領(lǐng)域尚有進(jìn)一步提高靈敏度的潛力, 基于同樣原理的實(shí)驗(yàn)室用輪廓儀已經(jīng)做到分辨力優(yōu)于0. 02nm。 {=5Wi|  
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4.一些干涉技術(shù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果 +=v6*%y"V  
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                  噪聲當(dāng)量 Ra＝0.08nm "Zo<$p3]  
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                重復(fù)性測(cè)試 2σ＝0.5nm dWhki|c  
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二、激光共焦 HAof,* h$  
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1.原理 9ZbT41  
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結(jié)合音叉與共焦原理而達(dá)到的一種非接觸的激光測(cè)量技術(shù)。 v##k,R.d  
(1)從光源發(fā)出的激光光束透過一組以音叉上下快速振動(dòng)的物鏡而聚焦在目標(biāo)物表面。 ]!JUiFj"uD  
(2)反射光束離開目標(biāo)物表面回到傳感器，并且被一個(gè)半反射導(dǎo)向而收斂在光接受元件上的針孔。 8U98`# i  
(3)當(dāng)激光光束聚焦于物體表面時(shí)，有一組傳感器決定音叉的正確位置，從而計(jì)算出目標(biāo)物表面的距離。 V&i/3g  
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2.技術(shù)優(yōu)勢(shì) U}w,$ Y  
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適用范圍廣，不受目標(biāo)物表面顏色、光澤度和材料等情況的影響。 5%+M:B  
響應(yīng)速度快，由音叉的振動(dòng)頻率決定其響應(yīng)速度。 gLyXe,Jp  
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3.國(guó)內(nèi)外相關(guān)研究 z}>q/!q  
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國(guó)內(nèi)：西安交通大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院激光紅外應(yīng)用技術(shù)研究所，趙宏教授領(lǐng)導(dǎo)的課題組。 x4$#x70?  
國(guó)外：日本的KEYENCE激光共焦位移計(jì)。 P4&3jQ[o  
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4.應(yīng)用 ;