摘 要:光學(xué)表面的光散射測(cè)量方法為目前測(cè)量光學(xué)元件表面散射特性的一種主要技術(shù),主要包括角分辨測(cè)量法和總積分測(cè)量法。本文對(duì)上述兩種測(cè)量方法的基本原理和實(shí)驗(yàn)裝置進(jìn)行了系統(tǒng)的闡述,并對(duì)兩種方法進(jìn)行了比較分析.最后討論了散射測(cè)量方法發(fā)展的趨勢(shì)。 1U\ap{z@
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關(guān)鍵詞:測(cè)量方法;光學(xué)表面;粗糙度