摘 要：表面粗糙度對(duì)工件的性能有很大的影響，由于機(jī)械、電子及光學(xué)工業(yè)的飛速發(fā)展，對(duì)精密機(jī)械加工表面的質(zhì)量及結(jié)構(gòu)小型化的要求日益提高，使得表面粗糙度測(cè)量顯現(xiàn)出越來(lái)越重要的地位。采用光學(xué)方法測(cè)量表面粗糙度具有非接觸、無(wú)損傷、測(cè)量精度高等優(yōu)點(diǎn)。介紹了用光散射法、像散法、散斑法、光干涉法、光學(xué)觸針?lè)y(cè)量表面粗糙度的原理及研究進(jìn)展，討論了上述方法各自的優(yōu)缺點(diǎn)，對(duì)表面粗糙度測(cè)量的發(fā)展方向進(jìn)行了預(yù)測(cè)。 j&44wu f
qa%g'sB-b
關(guān)鍵詞：表面粗糙度測(cè)量；光學(xué)測(cè)量；非接觸測(cè)量
