摘 要：表面粗糙度對工件的性能有很大的影響，由于機(jī)械、電子及光學(xué)工業(yè)的飛速發(fā)展，對精密機(jī)械加工表面的質(zhì)量及結(jié)構(gòu)小型化的要求日益提高，使得表面粗糙度測量顯現(xiàn)出越來越重要的地位。采用光學(xué)方法測量表面粗糙度具有非接觸、無損傷、測量精度高等優(yōu)點(diǎn)。介紹了用光散射法、像散法、散斑法、光干涉法、光學(xué)觸針法測量表面粗糙度的原理及研究進(jìn)展，討論了上述方法各自的優(yōu)缺點(diǎn)，對表面粗糙度測量的發(fā)展方向進(jìn)行了預(yù)測。 mk3,ke8
XK@Ct eP"
關(guān)鍵詞：表面粗糙度測量；光學(xué)測量；非接觸測量
