摘要：根據(jù)國(guó)際IS010110—7的表面缺陷標(biāo)準(zhǔn)及慣性約束聚變(ICF)工程標(biāo)準(zhǔn)，提出了一種新穎的光學(xué)元件表面缺陷的光學(xué)顯微散射成像及數(shù)字化評(píng)價(jià)系統(tǒng)，多束光纖冷光源呈環(huán)狀分布并以一定角度斜入射到數(shù)毫米視場(chǎng)的被檢表面，形成適合數(shù)字圖像二值化處理的暗背景上的亮疵病圖像。對(duì)x，Y兩方向進(jìn)行子孔徑圖像掃描成像，利用模板匹配原理對(duì)獲得的子孔徑圖像進(jìn)行拼接得到全孔徑表面疵病圖像信息�；�于數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)建立了可用于大口徑表面檢測(cè)掃描的圖像處理的模式識(shí)別軟件體系，并應(yīng)用二元光學(xué)制作了標(biāo)準(zhǔn)對(duì)比板，以獲得疵病正確的評(píng)價(jià)依據(jù)。最終利用該變倍光學(xué)顯微鏡散射成像系統(tǒng)得到能分辨微米量級(jí)表面疵病的圖像，其單個(gè)子孔徑物方視場(chǎng)約為3 mm，對(duì)x，y兩方向進(jìn)行5×5子孔徑圖像掃描成像，并給出了與標(biāo)準(zhǔn)比對(duì)的定量數(shù)據(jù)結(jié)果。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，本系統(tǒng)完全可以實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件表面缺陷的數(shù)字化評(píng)價(jià)。