摘要：根據(jù)國際IS010110—7的表面缺陷標(biāo)準(zhǔn)及慣性約束聚變(ICF)工程標(biāo)準(zhǔn)，提出了一種新穎的光學(xué)元件表面缺陷的光學(xué)顯微散射成像及數(shù)字化評價系統(tǒng)，多束光纖冷光源呈環(huán)狀分布并以一定角度斜入射到數(shù)毫米視場的被檢表面，形成適合數(shù)字圖像二值化處理的暗背景上的亮疵病圖像。對x，Y兩方向進行子孔徑圖像掃描成像，利用模板匹配原理對獲得的子孔徑圖像進行拼接得到全孔徑表面疵病圖像信息�；跀�(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)建立了可用于大口徑表面檢測掃描的圖像處理的模式識別軟件體系，并應(yīng)用二元光學(xué)制作了標(biāo)準(zhǔn)對比板，以獲得疵病正確的評價依據(jù)。最終利用該變倍光學(xué)顯微鏡散射成像系統(tǒng)得到能分辨微米量級表面疵病的圖像，其單個子孔徑物方視場約為3 mm，對x，y兩方向進行5×5子孔徑圖像掃描成像，并給出了與標(biāo)準(zhǔn)比對的定量數(shù)據(jù)結(jié)果。實驗結(jié)果表明，本系統(tǒng)完全可以實現(xiàn)光學(xué)元件表面缺陷的數(shù)字化評價。 P]j{JL/g&
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關(guān)鍵詞：光學(xué)測量；表面疵�。伙@微散射成像；形態(tài)學(xué)
