我公司新買臺(tái) 光馳 GENER1300真空鍍膜機(jī)，只有晶控沒(méi)有配光控。問(wèn)下各位這種配置最多能穩(wěn)定鍍多少層膜。 0%;MVMH  
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現(xiàn)在有個(gè)問(wèn)題請(qǐng)教一下，電子槍擋板打開后，成膜速度過(guò)快，速度沖到設(shè)定值的140%，然后慢慢下降，經(jīng)過(guò)30秒左右后能穩(wěn)定在設(shè)定值左右。我懷疑是成膜速率的PID設(shè)定有問(wèn)題，具體數(shù)為：  請(qǐng)各位幫忙分析下 %(NN*o9"q  
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名稱    速率    控制方式     GAIN         primary  time      dead time     max power         min  power i0i`k^bA  
MGF2   6.5         PID             3                      0.01               0.1                  10%                   0 O'Am RJ  
AL2O3  6.7        PID             1                      0.01                0.1                  50%                  3.0 %xh?!s|G(  
H4         7.1        PID              1                     0.01                 0.1                  50%                  3.0