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樓主
發(fā)表于: 2013-03-28
非接觸式鏡面定位儀目前已廣泛應用于
光學
裝配中,具有精度高,不損傷樣品的特點,儀器簡介如下:
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l\(t~Q
工作
原理
:
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非接觸式鏡面定位儀的光學原理,為采用了短相干
光源
的邁克爾遜干涉儀,并且參考鏡位置可以精確移動,當干涉儀的測量臂與參考臂光程相等時,才能夠發(fā)生干涉。這樣通過監(jiān)控參考鏡的移動,就可以測量被測鏡的位置。 原理圖如下:
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