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    [分享]光刻機鏡頭設(shè)計 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2013-03-29
    本文針對極大規(guī)模集成電路制造的工業(yè)化生產(chǎn)需求，開展面向 100nm 曝光節(jié)點的高數(shù)值孔徑（NA）、深紫外（DUV）投影光刻物鏡的光學設(shè)計與仿真。即綜合元件加工、檢測、鍍膜、光學材料、機械結(jié)構(gòu)、照明系統(tǒng)以及分辨率增強等各項技術(shù)要求和約束，完成 NA0.75，工作波長 193nm（ArF）投影光刻物鏡的光學設(shè)計。同時為最大限度地降低投影光刻物鏡的制造成本并確保的各項性能指標，研究投影光刻物鏡可能采取的像質(zhì)補償措施和方法。 ?_-5W9  
    CAJ文件 -6W$@,K  
    長春光機所  博士論文 vRkVPkZ6|  
    _ <Ip0?N  
    附件: 投影光刻物鏡的光學設(shè)計與像質(zhì)補償_許偉才.part1.rar (2048 K) 下載次數(shù):346 ，售價:1光幣[記錄]
    附件: 投影光刻物鏡的光學設(shè)計與像質(zhì)補償_許偉才.part2.rar (2048 K) 下載次數(shù):344 ，售價:1光幣[記錄]
    附件: 投影光刻物鏡的光學設(shè)計與像質(zhì)補償_許偉才.part3.rar (2048 K) 下載次數(shù):333 ，售價:1光幣[記錄]
    附件: 投影光刻物鏡的光學設(shè)計與像質(zhì)補償_許偉才.part4.rar (192 K) 下載次數(shù):209 ，售價:1光幣[記錄]
    共1條評分 ，光幣+10
    cyqdesign 光幣 +10 - 2013-03-29
     
    這個時代，每個人都在大聲說話，每個人都在爭分奪秒。我們用最快的速度站上高度。但是也在瞬間失去態(tài)度。當喇叭聲遮蓋了引擎聲，我們早已忘記，謙謙之道才是君子之道。你問我這個時代需要什么，在別人喧囂的時候安靜，在眾人安靜的時候發(fā)聲。不喧嘩，自有聲。
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    離線qsj98
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2013-03-29
    看看,學習學習.
    離線superyu2009
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2013-03-29
    謝謝 看看學習
    離線qsj98
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2013-03-29
    已回復卻看不見博士論文 .
    離線qsj98
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2013-03-29
    博士論文可以看見了,謝謝.
    離線yu-xuegang
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2013-03-29
    學習學習。
    離線zanmous
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2013-03-29
    看看，謝謝，支持，頂！
    離線sms55
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2013-03-29
    學習學習
    離線vurtne_000
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2013-03-29
    支持一下 學習中
    離線小飛
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2013-03-30
    看看�。。。。。。。。�！