tfcalc68:有啊,怎么做修正版?左邊活動(dòng)的和右邊固定的
(2013-04-17 16:08)嬀/color] @\T;PTD-
x1BOW 大機(jī)器有2中修正板,一種是基板左右的,每次做單腔來調(diào)整,還有就是基板擋板換成修正板,同理。
^5^}MB% 大機(jī)器還有離子源修正板,這個(gè)比較簡(jiǎn)單。
zzfn0g 小機(jī)器為左右擋板,試驗(yàn)原理也是單腔
t+ S~u^ 波長(zhǎng)長(zhǎng)了就修掉一點(diǎn),讓ibs多多轟擊即可
hyOm9WU 過程中的因子可以是 時(shí)間與厚度的比值、每次中心波長(zhǎng)的比值等等。。