luffy17520:大機器有2中修正板，一種是基板左右的，每次做單腔來調(diào)整，還有就是基板擋板換成修正板，同理。 hPr*<2mp  
大機器還有離子源修正板，這個比較簡單。 RrKAgw  
小機器為左右擋板，試驗原理也是單腔 I8HUH*|)n  
波長長了就修掉一點，讓ibs多多轟擊即可 3U<\y6/  
....... (2013-11-21 15:53)  8+Al+6d|!