對(duì)于光學(xué)表面的評(píng)價(jià)，可以有兩個(gè)重要指標(biāo)：表面面形和表面粗糙度。一般地，光學(xué)表面面形通過(guò)干涉儀來(lái)測(cè)量；而粗糙度一般采用光學(xué)輪廓儀或掃描探針顯微鏡測(cè)量。我們這里主要討論粗糙度的測(cè)量問(wèn)題。 1m*)MZ)  
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    對(duì)于小尺寸元件來(lái)說(shuō)，這些方法都是可行的。然而，對(duì)于大尺寸元件，比如口徑大于300mm或500mm甚至1m的元件，很多方法都受到了測(cè)量環(huán)境的限制。 TeHJj`rdAU  
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