在蒸鍍過(guò)程中材料的折射率怎樣能夠準(zhǔn)確算出,我知道折射率跟真空度.沉積速率.充氧量有關(guān),其它的還有嗎?那如何計(jì)算,如TiO2.SiO2.Os50.SiO.ZrO2等,請(qǐng)各位大俠指教.謝謝!!!

蒸度鍍過(guò)程中適時(shí)手動(dòng)計(jì)算材料的折射率比較困難啊，個(gè)人認(rèn)為必須測(cè)準(zhǔn)適時(shí)的膜層厚度和反（透）射率，或者是在極值點(diǎn)處的反（透）射率，再利用公式進(jìn)行計(jì)算，但感覺不怎么實(shí)用�，F(xiàn)在的鍍膜設(shè)備，已經(jīng)可以自動(dòng)計(jì)算并顯示出適時(shí)的折射率了。 $UdBZT-  
  折射率還和基片溫度，沉積角度，膜層的微觀結(jié)構(gòu)有關(guān)。 WVsj  
  折射率測(cè)量一個(gè)是用橢偏儀直接測(cè)量，一個(gè)是用分光光度計(jì)測(cè)單層膜在奇數(shù)個(gè)極值厚度處的反（透）射率，再用公式計(jì)算的間接測(cè)量。

能詳細(xì)說(shuō)下單層膜在奇數(shù)個(gè)極值厚度處透射率用公式計(jì)算的間接測(cè)量的過(guò)程么？？

就是就是,知道的,與大家分享一下啊

鍍個(gè)較厚一點(diǎn)的單層膜，根據(jù)極值點(diǎn)（膜比基底折射率高的看極小值，膜比基底折射率低的看極大值，并且選取長(zhǎng)波段的極值點(diǎn)，因?yàn)樵陂L(zhǎng)波段折射率色散�。┕浪愠瞿�層的折射率，該點(diǎn)的反射率，根據(jù)薄膜光學(xué)原理，相當(dāng)于單個(gè)四分之一光學(xué)厚度的膜厚（單層四分之一光學(xué)厚度的薄膜等效折射率為n^2/ng,n為膜的折射率，ng為基底折射率)的反射率。算出折射率后，再判斷極值級(jí)次，根據(jù)這個(gè)級(jí)次就可算出膜厚�，F(xiàn)在舉一例子加深理解。 LC##em=Y  
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此主題相關(guān)圖片如下： &
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無(wú)法傳圖，大家可用TFC設(shè)計(jì)一個(gè) Glass/6.451H/air的曲線對(duì)照著看，H的折射率為1.91，入射和出射介質(zhì)均為air，主要為理解下面的分析用。 T@{ab1KV  
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圖中基底折射率為1.52，該曲線的透過(guò)率極大值是空白玻璃的透過(guò)率，說(shuō)明鍍的膜沒有起增透作用，判斷膜的折射率應(yīng)該大于基底的折射率，所以我們要選極小值點(diǎn)的反射率來(lái)分析薄膜的折射率（選極大值等于在分析空白玻璃，因?yàn)槭桥紨?shù)個(gè)四分之一膜厚，等同虛設(shè)層），為選色散小的區(qū)域，可以找到最長(zhǎng)波段的極小值為1184nm，透過(guò)率為80.08%。設(shè)空白基底的單面透過(guò)率為T1，鍍有膜層側(cè)的單面透過(guò)率為T2，總和透過(guò)率，也就是所測(cè)透過(guò)率為T，則有關(guān)系式1/T=1/T1 + 1/T2 - 1(大家可以自己推算，就是簡(jiǎn)單的等比數(shù)列疊加，可先算出R1，R2和R的關(guān)系式　R＝(R1＋R2－2R1R2)/(1-R1R2),然后用1-Rx代替Tx），在這兒T1=95.742%, T=80.08%, T2為未知數(shù)，代入后得出T2＝83.037%，于是R2＝1－T2＝16.963%，R2＝(n^2/ng-1)^2 / (n^2/ng +1)^2 ，n=sqrt(ng*(1+sqrt(R2))/(1-sqrt(R2) )=1.910，這就是膜層的折射率 P_0[spmFU  
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然后來(lái)算膜厚。首先判斷透過(guò)率曲線的級(jí)次，在腦中要明確的是，當(dāng)膜的折射率大于基底時(shí)，所有的極小值都是奇數(shù)個(gè)四分之一膜厚，當(dāng)膜的折射率小于基底時(shí)，所有的極大值都是奇數(shù)個(gè)四分之一膜厚，根據(jù)前面分析，這兒當(dāng)然是極小值啦。如果沒有折射率色散，相鄰兩個(gè)極值之間　的波長(zhǎng)位置的比值應(yīng)為k/(k+1), k=1,3,5,7....(設(shè)第一個(gè)極值位置波長(zhǎng)為λ1,相鄰的另一個(gè)極值位置波長(zhǎng)為λ2，這里假設(shè)λ2的級(jí)次高于λ1,所以λ1＞λ2，則kλ1/4=nd, (k+1)λ2/4=nd,兩者比較后，就得出λ1/λ2=(k+1)/k )。我們來(lái)看891.0nm和1184nm這兩個(gè)極值，1184/891=1.328，　所以判斷k=3，于是根據(jù)kλ1/4=nd　有　d=kλ1/4n=3*1184/(4*1.91)=464.9nm。 N%>h>HJ