在蒸鍍過程中材料的折射率怎樣能夠準確算出,我知道折射率跟真空度.沉積速率.充氧量有關,其它的還有嗎?那如何計算,如TiO2.SiO2.Os50.SiO.ZrO2等,請各位大俠指教.謝謝!!!

蒸度鍍過程中適時手動計算材料的折射率比較困難啊，個人認為必須測準適時的膜層厚度和反（透）射率，或者是在極值點處的反（透）射率，再利用公式進行計算，但感覺不怎么實用。現(xiàn)在的鍍膜設備，已經可以自動計算并顯示出適時的折射率了。 +e-G,%>9  
  折射率還和基片溫度，沉積角度，膜層的微觀結構有關。 ak:ibV  
  折射率測量一個是用橢偏儀直接測量，一個是用分光光度計測單層膜在奇數(shù)個極值厚度處的反（透）射率，再用公式計算的間接測量。

能詳細說下單層膜在奇數(shù)個極值厚度處透射率用公式計算的間接測量的過程么？？

就是就是,知道的,與大家分享一下啊

鍍個較厚一點的單層膜，根據(jù)極值點（膜比基底折射率高的看極小值，膜比基底折射率低的看極大值，并且選取長波段的極值點，因為在長波段折射率色散�。┕浪愠瞿�層的折射率，該點的反射率，根據(jù)薄膜光學原理，相當于單個四分之一光學厚度的膜厚（單層四分之一光學厚度的薄膜等效折射率為n^2/ng,n為膜的折射率，ng為基底折射率)的反射率。算出折射率后，再判斷極值級次，根據(jù)這個級次就可算出膜厚�，F(xiàn)在舉一例子加深理解。 sg8/#_S1i  
Raw)9tUt  
VL[kJi   
此主題相關圖片如下： ?]rPRV
  
無法傳圖，大家可用TFC設計一個 Glass/6.451H/air的曲線對照著看，H的折射率為1.91，入射和出射介質均為air，主要為理解下面的分析用。 _$p$")  
NBF MN%  
$-&BB(-{E&  
圖中基底折射率為1.52，該曲線的透過率極大值是空白玻璃的透過率，說明鍍的膜沒有起增透作用，判斷膜的折射率應該大于基底的折射率，所以我們要選極小值點的反射率來分析薄膜的折射率（選極大值等于在分析空白玻璃，因為是偶數(shù)個四分之一膜厚，等同虛設層），為選色散小的區(qū)域，可以找到最長波段的極小值為1184nm，透過率為80.08%。設空白基底的單面透過率為T1，鍍有膜層側的單面透過率為T2，總和透過率，也就是所測透過率為T，則有關系式1/T=1/T1 + 1/T2 - 1(大家可以自己推算，就是簡單的等比數(shù)列疊加，可先算出R1，R2和R的關系式　R＝(R1＋R2－2R1R2)/(1-R1R2),然后用1-Rx代替Tx），在這兒T1=95.742%, T=80.08%, T2為未知數(shù)，代入后得出T2＝83.037%，于是R2＝1－T2＝16.963%，R2＝(n^2/ng-1)^2 / (n^2/ng +1)^2 ，n=sqrt(ng*(1+sqrt(R2))/(1-sqrt(R2) )=1.910，這就是膜層的折射率 n=,\;3Y=  
Vf`7V$sr  
然后來算膜厚。首先判斷透過率曲線的級次，在腦中要明確的是，當膜的折射率大于基底時，所有的極小值都是奇數(shù)個四分之一膜厚，當膜的折射率小于基底時，所有的極大值都是奇數(shù)個四分之一膜厚，根據(jù)前面分析，這兒當然是極小值啦。如果沒有折射率色散，相鄰兩個極值之間　的波長位置的比值應為k/(k+1), k=1,3,5,7....(設第一個極值位置波長為λ1,相鄰的另一個極值位置波長為λ2，這里假設λ2的級次高于λ1,所以λ1＞λ2，則kλ1/4=nd, (k+1)λ2/4=nd,兩者比較后，就得出λ1/λ2=(k+1)/k )。我們來看891.0nm和1184nm這兩個極值，1184/891=1.328，　所以判斷k=3，于是根據(jù)kλ1/4=nd　有　d=kλ1/4n=3*1184/(4*1.91)=464.9nm。 2