MEMS VOA（可調(diào)光衰減器）是光
通信系統(tǒng)中的一種重要的光無源
器件，具有小體積、低插損、快速響應(yīng)、穩(wěn)定性好、易于批量生產(chǎn)等優(yōu)點，能很好地適應(yīng)
光纖系統(tǒng)小型化與集成化的發(fā)展趨勢。
KJ:z\N8eo X</Sl>[8 VMUX是信道光
功率預(yù)均衡合波模塊，具有合波和各信道光功率預(yù)均衡的功能，即可對DWDM系統(tǒng)的每個通道光功率進行均衡，實現(xiàn)光信號的長距離無誤碼傳輸。VMUX模塊提供多路光信道可調(diào)光衰減及合波，可在
電路控制下調(diào)節(jié)輸入與輸出之間的光衰減量。在光通信線路中，經(jīng)過EDFA之前的各
波長通道的光，都必須用VUMX模塊進行功率均衡，以保證各通道的光信號功率控制在可允許的范圍內(nèi)，避免非均衡增益經(jīng)EDFA放大而導致比較嚴重的非線性效應(yīng)。
Np%Q-T\ ;0Q" [[J :)i,K>y3i 如圖，VMUX模塊由均衡功率的VOA組和合波的MUX構(gòu)成，其常見
結(jié)構(gòu)有兩種：一種是用可靠的MEMS VOA陣列與基于成熟的介質(zhì)膜濾光器（TFF）技術(shù)構(gòu)建的MUX實現(xiàn)，另一種是用新興的PLC VOA陣列與基于波導
陣列光柵（AWG）技術(shù)構(gòu)建的MUX實現(xiàn)。兩者應(yīng)用的場合各不相同，前者常用在信道數(shù)較少（n≤16）的系統(tǒng)中，此時的性價比高，MEMS VOA組無需配備制冷器與溫控電路，無需進行散熱設(shè)計，且整個模塊具有更小的PDL與偏振膜色散（PMD），更高的隔離度和更低的功耗。
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