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    [求助]AR膜反射率不良時(shí)如何調(diào)整 [復(fù)制鏈接]

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    離線wugujianwgj
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    只看該作者 10樓 發(fā)表于: 2014-10-17
    AR就用晶控控制看看唄。
    離線ouyuu
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    只看該作者 11樓 發(fā)表于: 2014-10-21
    回 leehow534 的帖子
    leehow534:氣壓，膜厚，光量比值都沒問題，很奇怪呀。 uPA ( 1  
    有些膜層同樣的膜厚10幾個(gè)NM，監(jiān)控玻璃有時(shí)候有極值有時(shí)候又沒有，何解？ A]/o-S_  
    大多數(shù)情況下沒有極值，根本看不出來規(guī)律來 (2014-04-01 23:20)  @dDeOnF  
    ~ y!'\d>q<  
    薄層，特別是二氧化硅薄層，還是用晶控。 $>XeC}"x68  
    另外，看一下光控片有沒有問題，高度是否一致，是否水平放置。 i/ilG 3m>  
    光控片換新的試試，裝之前擦一下。
    離線teddy0586
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    只看該作者 12樓 發(fā)表于: 2014-12-09
    可以考慮換下靶的材料
    離線yzhuang
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    只看該作者 13樓 發(fā)表于: 2015-04-04
    如果是國內(nèi)的設(shè)備，還是晶控比較好，光控最好的還是萊寶
    離線seven_117
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    只看該作者 14樓 發(fā)表于: 2018-04-08
    不懂，還在學(xué)習(xí)中
    離線johnyu
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    只看該作者 15樓 發(fā)表于: 2018-09-05
    薄層問題 \N>-+r  
    (q> TKM  
    解決方法: bLgH3[{  
    rz?Cn X.t  
    最簡單就是用石英控控制薄層 a