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    [求助]AR膜反射率不良時(shí)如何調(diào)整 [復(fù)制鏈接]

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    離線wugujianwgj
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    只看該作者 10樓 發(fā)表于: 2014-10-17
    AR就用晶控控制看看唄。
    離線ouyuu
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    只看該作者 11樓 發(fā)表于: 2014-10-21
    回 leehow534 的帖子
    leehow534:氣壓，膜厚，光量比值都沒(méi)問(wèn)題，很奇怪呀。 $' (QTEM  
    有些膜層同樣的膜厚10幾個(gè)NM，監(jiān)控玻璃有時(shí)候有極值有時(shí)候又沒(méi)有，何解？ 'cAc{\)  
    大多數(shù)情況下沒(méi)有極值，根本看不出來(lái)規(guī)律來(lái) (2014-04-01 23:20)  sCF40AoY&  
    Cx+WLD  
    薄層，特別是二氧化硅薄層，還是用晶控。 7Y32p'  
    另外，看一下光控片有沒(méi)有問(wèn)題，高度是否一致，是否水平放置。 }{5mH:  
    光控片換新的試試，裝之前擦一下。
    離線teddy0586
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    只看該作者 12樓 發(fā)表于: 2014-12-09
    可以考慮換下靶的材料
    離線yzhuang
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    只看該作者 13樓 發(fā)表于: 2015-04-04
    如果是國(guó)內(nèi)的設(shè)備，還是晶控比較好，光控最好的還是萊寶
    離線seven_117
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    只看該作者 14樓 發(fā)表于: 2018-04-08
    不懂，還在學(xué)習(xí)中
    離線johnyu
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    只看該作者 15樓 發(fā)表于: 2018-09-05
    薄層問(wèn)題 Aoj6k\YX  
    ]o-Fi$h!  
    解決方法: wms1IV%;  
    v&xKi>A il  
    最簡(jiǎn)單就是用石英控控制薄層 NQ? x8h3  
    NuU'0_")/  
    或薄層的鍍率用慢點(diǎn) ajW[eyX  
    $`|5/,M%QN  
    去試試看
    離線onlye
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    只看該作者 16樓 發(fā)表于: 2019-01-30
    主要控制膜厚和折射率
    離線opticsrain
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    只看該作者 17樓 發(fā)表于: 2019-04-29
    看變化的大不大吧，如果在機(jī)器的誤差范圍之內(nèi)變化是正常的，如果是連續(xù)的同一機(jī)器鍍膜，每次都不一樣，應(yīng)該是設(shè)備出現(xiàn)了不良，EB，膜厚計(jì)，離子槍等不良都有可能。
    離線jepatwin
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    只看該作者 18樓 發(fā)表于: 2024-06-22
    膜系敏感層