一﹑晶振片的種類
c3aBPig\D 3[*x'"Q;H 晶振片的電極對膜厚監(jiān)控至關(guān)重要,目前,市場上提供三種
標(biāo)準(zhǔn)電極
材料:金、銀和合金。 金是最廣泛使用的傳統(tǒng)材料,它具有低接觸電阻,高化學(xué)溫定性,易于沉積。金最適合于低應(yīng)力材料,如金,銀,銅的膜厚控制。用鍍金晶振片監(jiān)控以上產(chǎn)品,即使頻率飄移1MHz,也沒有負(fù)作用。然而,金電極不易彎曲,會(huì)將應(yīng)力從膜層轉(zhuǎn)移到石英基片上。轉(zhuǎn)移的壓力會(huì)使晶振片跳頻和嚴(yán)重影響質(zhì)量和穩(wěn)定性。
As>-9p>v NG+%H1!$_ 銀是接近完美的電極材料,有非常低的接觸電阻和優(yōu)良的塑變性。然而,銀容易硫化,硫化后的銀接觸電阻高,降低晶振片上膜層的牢固性。
(F+]h]KSi yd=NafPM 銀鋁合金晶振片最近推出一種新型電極材料,適合高應(yīng)力膜料的
鍍膜監(jiān)控,如Si0,Si02, MgF2,Ti02。這些高應(yīng)力膜層,由于高張力或堆積的引力,經(jīng)常會(huì)使晶振片有不穩(wěn)定,高應(yīng)力會(huì)使基片變形而導(dǎo)致跳頻。 銀鋁合金通過塑變或流變分散應(yīng)力,在張力或應(yīng)力使基體變形前,銀鋁電極已經(jīng)釋放了這些應(yīng)力。這使銀鋁合金晶振片具有更長時(shí)間,更穩(wěn)定的振動(dòng)。實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)表明鍍Si02用 銀鋁合金晶振片比鍍金壽命長400%。
+~n"@ / !n^7&Y[N; 晶振片的電極根據(jù)其外觀形狀分為單錨﹑雙錨﹑全雙錨,目前使用較多的為雙錨電極晶振片。
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y1 二﹑如何選用最合適的晶振片?
7X{@$>+S c&"OhzzJK' 鍍膜科技日新月異,對于鍍膜工程師來說,如何根據(jù)不同的鍍膜
工藝選擇最佳的晶振片確實(shí)不易。下面建議供大家參考:
N2uTWT> -n"7G%$M 1)鍍低應(yīng)力膜料時(shí),選擇鍍金晶振片 最常見的鍍膜是鍍Al、Au、Ag、Cu,這些膜層幾乎沒有應(yīng)力,在室溫下鍍膜即可。膜層較軟,易劃傷,但不會(huì)裂開或?qū)桩a(chǎn)生負(fù)作用。建議使用鍍金晶振片用于上述鍍膜,經(jīng)驗(yàn)證明,可以在鍍金晶振片鍍60000埃金和50000埃銀的厚度。
8+mu'RZ X wl Nl|+ K 2)使用鍍銀或銀鋁合金鍍高應(yīng)力膜層 Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不銹鋼這些材料容易產(chǎn)生高應(yīng)力,膜層容易從
晶體基片上剝落或裂開,以致出現(xiàn)速率的突然跳躍或一系列速率的突然不規(guī)則正負(fù)變動(dòng)。有時(shí),這些情況可以容忍,但在一些情況下,會(huì)對蒸發(fā)源的
功率控制有不良作用。
INNTp[ {>h,@ 3)使用銀鋁合金晶振片鍍介質(zhì)
光學(xué)膜 MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2膜料由于良好的光學(xué)透明區(qū)域或折射率特性,被廣泛用于光學(xué)鍍膜,但這些膜料也是最難監(jiān)控的,只有基底溫度大于200度時(shí),這些膜層才會(huì)與基底有非常良好的結(jié)合力,所以當(dāng)這些膜料鍍在水冷的基底晶振片上,在膜層凝結(jié)過程會(huì)產(chǎn)生巨大的應(yīng)力,容易使晶振片在1000埃以內(nèi)就回失效。 這時(shí)候,選用合金晶振片將是最好的選擇,將大大減少調(diào)頻機(jī)會(huì)。實(shí)驗(yàn)室顯示,使用合金晶振片監(jiān)視氟化鎂,有效壽命比鍍金的長100%。如果把冷卻水的溫度從20度提高到50 度,晶振片的壽命更可以再延長一倍。
]|8*l]oc FT;I|+H*P 三﹑晶振片的安裝及注意事項(xiàng)與技巧
!*!i&0QC~R *|B5,Ey 隨著鍍膜規(guī)格指標(biāo)的需求日益嚴(yán)格,單靠光控已經(jīng)難以達(dá)到要求,晶振控制成為鍍膜必備的輔助或控制方法﹐如何正確有效地使用晶振片成為保證鍍膜質(zhì)量的重點(diǎn)。所以為了使晶振片壽命最長,下面一些方法和技巧供您參考:
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V'~> "ivSpec.V 1. 總是用攝子來挾住晶振片的邊緣,不要碰晶振片中心,因?yàn)榫д衿駝?dòng)的活躍中心,任何灰層,油污都會(huì)降低晶振片的振動(dòng)能力。新的晶振片使用之前應(yīng)在酒精(分析純即可)中浸泡1分鐘左右,之后用塑料鑷子夾取并用無塵紙或潔凈的綢布將酒精擦拭干凈,同時(shí)用蘸有酒精的無塵紙或綢布將晶振座擦拭干凈,組裝晶振片之前用吹氣球?qū)⒕д衿、晶振座及探頭的接觸彈簧上可能殘留的灰塵、紙屑等吹掉﹐晶振片裝好后再一次用吹氣球吹晶振片的表面,去除散落的灰塵。切記不要用手指直接接觸晶振片以免留下油漬。
X,`^z,M%I yD yMI 2. 保持晶振片的清潔。不要讓鍍膜材料的粉末接觸晶振片的前后中心位置。任何晶體和夾具之間的顆;蚧覍訉⒂绊
電子接觸,而且會(huì)產(chǎn)生應(yīng)力點(diǎn),從而改變晶體振動(dòng)的模式。
Ae8P'FWB> _]Y9Eoz 3 .晶振座經(jīng)過多次鍍膜后其表面會(huì)沉積較厚的膜,如果不將其除去,由于離子轟擊產(chǎn)生的反濺射會(huì)影響晶振片的測試
精度?梢韵扔脟娚盎蛴么蛏凹埛椒▽⒛映,之后用酒精浸泡5分鐘左右,如果能用超聲波振蕩清洗一下,效果會(huì)更好,最后再將其放入110℃烤箱中烘烤15分鐘,即可使用。
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O 4. 保持足夠的冷卻水使晶振頭溫度在20-50度。 如果可以將溫度誤差保持在1-2度范圍內(nèi),效果更佳。
fq(3uE]nC K)P].htw 四﹑晶振片使用維護(hù) 晶振片要不要換主要看下方面:
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