光學(xué)薄膜作為現(xiàn)代光學(xué)的一個重要分支,已被廣泛應(yīng)用于工業(yè)、農(nóng)業(yè)等各個領(lǐng)域,其在人們的日常生活中起著越來越重要的作用。減反射膜作為光學(xué)膜中最重要的一種,它的發(fā)展也得到了更廣泛的關(guān)注。 Nq/,41
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本文主要通過對光學(xué)薄膜特性的理論計(jì)算,包括薄膜的基本理論,單層薄膜的特性計(jì)算和多層薄膜的特性計(jì)算,來對光學(xué)薄膜的特性達(dá)到一定程度的認(rèn)識。并通過對光學(xué)減反射膜的設(shè)計(jì)原理、選材及流程的掌握來對減反射膜有一個更深的了解。最終利用直流反應(yīng)濺射法制備TiO2薄膜,摸索其制備工藝。利用透射光譜,采用“包絡(luò)法”計(jì)算薄膜的折射率、厚度、吸收系數(shù)和消光系數(shù),從而分析薄膜的光學(xué)性能。 J}Bg<[n