GaN折射率的橢圓偏振光譜研究.PDF，需要的下載，別忘了支持一下。 p'4ZcCW?f
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摘要: 利用 400~ 1200nm 波段的橢圓偏振光譜對生長在藍(lán)寶石襯底上的非故意摻雜纖鋅礦氮化鎵( GaN) 外延薄膜進(jìn)行了研究. 通過擬合實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)獲得了 GaN 薄膜的厚度和在可見-近紅外區(qū)域的折射率色散關(guān)系, 即 n2( K) = 2. 262+ 330. 12/ ((K/ nm)2- 265. 72) . 利用這一公式研究了GaN 紫外-可見波段的反射光譜, 計(jì)算得到的 GaN 薄膜厚度, 與橢偏光譜結(jié)果一致, 兩者偏差僅為 0. 68%.
