一樓的RMS Spot Radius指的是分析時按像點半徑的平均值做為判定依據(jù)分析誤差;
樓主說的PV和RMS是指面型誤差極值間距和面型平均誤差,Ctrl+T-蒙特卡洛-勾選上最好和最壞情況(如下圖1),
圖1
接著自己設(shè)置好Tolerancing參數(shù),Lens Data所以數(shù)據(jù)都改成定值,運行一下Tolerancing,接著在文件所在文件夾打開誤差分析后自動生成的最好情況或最壞情況的Zemax文件,點Analyze菜單-波前-波前圖,在出來的波前圖最下面能看到PV和RMS值(如下圖2)。
圖2