非球面光學(xué)零件廣泛應(yīng)用于航空機(jī)載設(shè)備(雷達(dá)測(cè)距儀)、衛(wèi)星(先進(jìn)的光學(xué)望遠(yuǎn)系統(tǒng)、高分辨率的電視攝像系統(tǒng)、高靈敏度的紅外傳感系統(tǒng))、激光制導(dǎo)、紅外探測(cè)等領(lǐng)域，同時(shí)在民用光電產(chǎn)品上的應(yīng)用更為廣泛． S.mG?zbw  
1非球面光學(xué)零件的延性方式磨削技術(shù) DF&(8NoX~  
1．1延性方式磨削技術(shù) TEP,Dq  
     最近，短波長(zhǎng)光學(xué)，特別是 x射線光學(xué)領(lǐng)域中的研究活動(dòng)表明， x射線領(lǐng)域的光學(xué)元件多采用非球面，并要求零件的形狀精度達(dá)到納米級(jí)，表面粗糙度達(dá)到埃級(jí)，而且越來(lái)越多的使用硬脆性材料。這些零件的傳統(tǒng)加工方法是磨削加工后，經(jīng)過(guò)研磨、拋光工序，精加工成所需零件，這種方法的生產(chǎn)效率低，加工周期長(zhǎng)，不能適應(yīng)現(xiàn)代生產(chǎn)的需要。作為光學(xué)零件的加工，一方面要求精度高，加工表面超光滑，另一方面又要求加工表面沒(méi)有加工變質(zhì)層。在這種需求下，就產(chǎn)生了硬脆材料的延性方式磨削，成為超精密加工的一個(gè)熱點(diǎn)。 Z-$[\le  
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