非球面
光學零件廣泛應(yīng)用于航空機載設(shè)備(雷達測距儀)、衛(wèi)星(先進的光學望遠系統(tǒng)、高分辨率的電視攝像系統(tǒng)、高靈敏度的紅外傳感系統(tǒng))、
激光制導、紅外探測等領(lǐng)域,同時在民用光電產(chǎn)品上的應(yīng)用更為廣泛.
AW[_k% 1非球面光學零件的延性方式磨削技術(shù)
jEaU; 1.1延性方式磨削技術(shù)
Xu[(hT6 最近,短
波長光學,特別是 x射線光學領(lǐng)域中的研究活動表明, x射線領(lǐng)域的光學元件多采用非球面,并要求零件的形狀
精度達到納米級,表面粗糙度達到埃級,而且越來越多的使用硬脆性材料。這些零件的傳統(tǒng)加工方法是磨削加工后,經(jīng)過研磨、拋光工序,精加工成所需零件,這種方法的生產(chǎn)效率低,加工周期長,不能適應(yīng)現(xiàn)代生產(chǎn)的需要。作為光學零件的加工,一方面要求精度高,加工表面超光滑,另一方面又要求加工表面沒有加工變質(zhì)層。在這種需求下,就產(chǎn)生了硬脆材料的延性方式磨削,成為超精密加工的一個熱點。
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