[求助]為什么zemax最后的彌散斑大小比艾里斑還小？ [復(fù)制鏈接]

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學(xué)習(xí)了

離線zhyp2010whu

助理工程師

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學(xué)習(xí)了，謝謝！

離線wtyssg

助理工程師

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實(shí)際成像結(jié)果不可能小于艾里斑，這是由光學(xué)系統(tǒng)孔徑?jīng)Q定的

離線狐貍安寧

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只看該作者 23樓發(fā)表于: 2016-03-30

回 ds1234567 的帖子

ds1234567:突破衍射極限是的難題，從光刻鏡頭設(shè)計(jì)思路可見(jiàn)，為了使光斑變小一方面減小波長(zhǎng)，另一方面增大相對(duì)孔徑。
(2014-11-26 19:28) tId,Q>zH

鏡頭是不可能突破衍射極限的，優(yōu)化只能減少幾何像差，但是不會(huì)改變衍射。光刻物鏡的設(shè)計(jì)思路目的不是為了突破衍射極限，是為了通過(guò)改變?cè)O(shè)計(jì)指標(biāo)，比如F#和波長(zhǎng)減小艾里斑半徑，即減小衍射效應(yīng)對(duì)像質(zhì)的影響。高分辨率的鏡頭是衍射受限的，因?yàn)閹缀蜗癫钜呀?jīng)平衡的很好。低質(zhì)量的鏡頭是幾何受限的。

離線狐貍安寧

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回 ds1234567 的帖子

ds1234567:好友有一個(gè)頂級(jí)的國(guó)外鏡頭，讓我看看，我就遇到像質(zhì)可不可以超過(guò)衍射問(wèn)題。假設(shè)衍射極限定在第一級(jí)環(huán)上，那是瑞利判斷準(zhǔn)則，這個(gè)準(zhǔn)則要求低些，鏡頭的極限分辨率在F=5.6時(shí)，達(dá)到280lp/mm !|"LAr9u
瑞利判斷是：1/1.22λF，如果波長(zhǎng)取555.0nm，F(xiàn)5.6時(shí)，則截止頻率為263.73 lp/mm，當(dāng)時(shí)波長(zhǎng)用 .. (2014-11-21 11:09) -b )~

鏡頭極限分辨率不會(huì)超過(guò)衍射極限，你的截止頻率為263.73 lp/mm的計(jì)算好像不太準(zhǔn)。艾里斑半徑是1.22lamda/D，但傳函截至頻率不是1/(1.22lamda*F#)，而是1/(lamda*F#)。這個(gè)我也沒(méi)想明白為什么，你要想明白的話教我。

離線狐貍安寧

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點(diǎn)圖rms radius可能小于艾里斑radius的，但實(shí)際的光斑分布肯定是比衍射極限下的光斑分布更分散的。之所以會(huì)有這種情況，可能是跟zemax中光斑radius的定義（能量分布占百分比）有關(guān)系。另外點(diǎn)圖貌似是不考慮衍射效應(yīng)的，在鏡頭已經(jīng)優(yōu)化的接近衍射極限時(shí)可能不適用？不清楚。你看下衍射MTF圖，衍射極限MTF曲線肯定比實(shí)際MTF曲線高