學(xué)習(xí)了

學(xué)習(xí)了，謝謝！

實際成像結(jié)果不可能小于艾里斑，這是由光學(xué)系統(tǒng)孔徑?jīng)Q定的

ds1234567:突破衍射極限是的難題，從光刻鏡頭設(shè)計思路可見，為了使光斑變小一方面減小波長，另一方面增大相對孔徑。
 (2014-11-26 19:28)  to3?$-L  

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鏡頭是不可能突破衍射極限的，優(yōu)化只能減少幾何像差，但是不會改變衍射。光刻物鏡的設(shè)計思路目的不是為了突破衍射極限，是為了通過改變設(shè)計指標(biāo)，比如F#和波長減小艾里斑半徑，即減小衍射效應(yīng)對像質(zhì)的影響。高分辨率的鏡頭是衍射受限的，因為幾何像差已經(jīng)平衡的很好。低質(zhì)量的鏡頭是幾何受限的。

ds1234567:好友有一個頂級的國外鏡頭，讓我看看，我就遇到像質(zhì)可不可以超過衍射問題。假設(shè)衍射極限定在第一級環(huán)上，那是瑞利判斷準(zhǔn)則，這個準(zhǔn)則要求低些，鏡頭的極限分辨率在F=5.6時，達(dá)到280lp/mm XARSGAuw  
瑞利判斷是：1/1.22λF，如果波長取555.0nm，F(xiàn)5.6時，則截止頻率為263.73 lp/mm，當(dāng)時波長用 .. (2014-11-21 11:09)  kgc.8  

NKh,z& _5-  
鏡頭極限分辨率不會超過衍射極限，你的截止頻率為263.73 lp/mm的計算好像不太準(zhǔn)。艾里斑半徑是1.22lamda/D，但傳函截至頻率不是1/(1.22lamda*F#)，而是1/(lamda*F#)。這個我也沒想明白為什么，你要想明白的話教我。

點圖rms radius可能小于艾里斑radius的，但實際的光斑分布肯定是比衍射極限下的光斑分布更分散的。之所以會有這種情況，可能是跟zemax中光斑radius的定義（能量分布占百分比）有關(guān)系。另外點圖貌似是不考慮衍射效應(yīng)的，在鏡頭已經(jīng)優(yōu)化的接近衍射極限時可能不適用？不清楚。你看下衍射MTF圖，衍射極限MTF曲線肯定比實際MTF曲線高 ] zIfC>@R  

我不會出錯。倒是國標(biāo)有錯，GB11168-1989 光學(xué)系統(tǒng)λ像質(zhì)測試方法，附錄A（第11頁）“λ=0.550um；而無限遠(yuǎn)成像系統(tǒng) 1/（1.22λF）=1477/F ” 1/1.22*0.00055=1490 lp/mm，只有1/1.22*0.000555=1477 lp/mm，實際檢測操作上，根本沒有這個波長的單色光。 /MqP[*L  
1/（1.22*0.000555*5.6）=263.73 jDp]R_i  
你看一看05版，F(xiàn)=5.6的截止頻率，系數(shù)為1,我不知道為什么。北理的李林把系數(shù) 1.22  、1.02、 0.947都講了，沒說1。

我認(rèn)為實際光斑最后要大于艾里斑，因為艾里斑僅僅是物理光學(xué)產(chǎn)生的像差，而實際系統(tǒng)肯定會有幾何光學(xué)產(chǎn)生的幾何像差的，這樣光斑肯定會變更大一點

衍射極限我認(rèn)為突破不了，因為它是物理性質(zhì)決定的，是肯定會存在的，既然存在就不會突破

艾里斑是只考慮衍射的影響 5=Zp%[#  
RMS是只考慮幾何像差的影響