學(xué)習(xí)了

學(xué)習(xí)了，謝謝！

實(shí)際成像結(jié)果不可能小于艾里斑，這是由光學(xué)系統(tǒng)孔徑?jīng)Q定的

ds1234567:突破衍射極限是的難題，從光刻鏡頭設(shè)計(jì)思路可見(jiàn)，為了使光斑變小一方面減小波長(zhǎng)，另一方面增大相對(duì)孔徑。
 (2014-11-26 19:28)  sqF.,A,  

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鏡頭是不可能突破衍射極限的，優(yōu)化只能減少幾何像差，但是不會(huì)改變衍射。光刻物鏡的設(shè)計(jì)思路目的不是為了突破衍射極限，是為了通過(guò)改變?cè)O(shè)計(jì)指標(biāo)，比如F#和波長(zhǎng)減小艾里斑半徑，即減小衍射效應(yīng)對(duì)像質(zhì)的影響。高分辨率的鏡頭是衍射受限的，因?yàn)閹缀蜗癫钜呀?jīng)平衡的很好。低質(zhì)量的鏡頭是幾何受限的。

ds1234567:好友有一個(gè)頂級(jí)的國(guó)外鏡頭，讓我看看，我就遇到像質(zhì)可不可以超過(guò)衍射問(wèn)題。假設(shè)衍射極限定在第一級(jí)環(huán)上，那是瑞利判斷準(zhǔn)則，這個(gè)準(zhǔn)則要求低些，鏡頭的極限分辨率在F=5.6時(shí)，達(dá)到280lp/mm ^xgPL'  
瑞利判斷是：1/1.22λF，如果波長(zhǎng)取555.0nm，F(xiàn)5.6時(shí)，則截止頻率為263.73 lp/mm，當(dāng)時(shí)波長(zhǎng)用 .. (2014-11-21 11:09)  &01KHJY)/G  

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鏡頭極限分辨率不會(huì)超過(guò)衍射極限，你的截止頻率為263.73 lp/mm的計(jì)算好像不太準(zhǔn)。艾里斑半徑是1.22lamda/D，但傳函截至頻率不是1/(1.22lamda*F#)，而是1/(lamda*F#)。這個(gè)我也沒(méi)想明白為什么，你要想明白的話(huà)教我。

點(diǎn)圖rms radius可能小于艾里斑radius的，但實(shí)際的光斑分布肯定是比衍射極限下的光斑分布更分散的。之所以會(huì)有這種情況，可能是跟zemax中光斑radius的定義（能量分布占百分比）有關(guān)系。另外點(diǎn)圖貌似是不考慮衍射效應(yīng)的，在鏡頭已經(jīng)優(yōu)化的接近衍射極限時(shí)可能不適用？不清楚。你看下衍射MTF圖，衍射極限MTF曲線(xiàn)肯定比實(shí)際MTF曲線(xiàn)高 0;w 4WJJ  

我不會(huì)出錯(cuò)。倒是國(guó)標(biāo)有錯(cuò)，GB11168-1989 光學(xué)系統(tǒng)λ像質(zhì)測(cè)試方法，附錄A（第11頁(yè)）“λ=0.550um；而無(wú)限遠(yuǎn)成像系統(tǒng) 1/（1.22λF）=1477/F ” 1/1.22*0.00055=1490 lp/mm，只有1/1.22*0.000555=1477 lp/mm，實(shí)際檢測(cè)操作上，根本沒(méi)有這個(gè)波長(zhǎng)的單色光。 Sq2 8=1%  
1/（1.22*0.000555*5.6）=263.73 ]_!NmB_3  
你看一看05版，F(xiàn)=5.6的截止頻率，系數(shù)為1,我不知道為什么。北理的李林把系數(shù) 1.22  、1.02、 0.947都講了，沒(méi)說(shuō)1。

我認(rèn)為實(shí)際光斑最后要大于艾里斑，因?yàn)榘�里斑僅僅是物理光學(xué)產(chǎn)生的像差，而實(shí)際系統(tǒng)肯定會(huì)有幾何光學(xué)產(chǎn)生的幾何像差的，這樣光斑肯定會(huì)變更大一點(diǎn)

衍射極限我認(rèn)為突破不了，因?yàn)樗�是物理性質(zhì)決定的，是肯定會(huì)存在的，既然存在就不會(huì)突破

艾里斑是只考慮衍射的影響 pG v*{.  
RMS是只考慮幾何像差的影響