微納光學(xué)在LED芯片中應(yīng)用研究的綜述.pdf，需要的下吧。 Z=s.`? Z
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摘要：LED以其高效節(jié)能、體積小、壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)被認(rèn)為是最有可能進(jìn)入普通照明領(lǐng)域的一種新型固態(tài)光源，但LED芯片的光提取效率仍較低。綜述了LED外延片表面的各種基于微納光學(xué)結(jié)構(gòu)的加工技術(shù)，如通過(guò)在LED芯片表面上加工粗糙微結(jié)構(gòu)、LED芯片表面雙層微結(jié)構(gòu)、二維光子晶體結(jié)構(gòu)、雙光柵結(jié)構(gòu)等。介紹了通過(guò)各種加工技術(shù)對(duì)LED芯片微納光學(xué)結(jié)構(gòu)的加工提高了芯片的外量子效率，從而提高了LED的出光效率。
