大口徑光學(xué)元件微納加工與檢測技術(shù)研究與應(yīng)用.pdf，下吧。 \f6SA{vR|
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摘要：超精密金剛石砂輪磨削是大口徑先進(jìn)光學(xué)元件微納加工的主要技術(shù)，是實(shí)現(xiàn)確定性批量加工的重要保證，以實(shí)現(xiàn)高精度、高效率、高自動化程度加工為目的，闡述了大口徑光學(xué)元件微納加工與檢測的加工技術(shù)系統(tǒng)，詳細(xì)分析高精度加工設(shè)備及工藝控制、大尺寸檢測、加工環(huán)境監(jiān)控、快速拋光、表面織構(gòu)化等研究應(yīng)用情況。 {)j3Pn
