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    [求助]請(qǐng)教如何控制直流磁控濺鍍膜厚的均勻度 [復(fù)制鏈接]

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    離線kevin980828
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2005-09-08
    剛接觸濺鍍機(jī),發(fā)現(xiàn)真空腔內(nèi)外圍比內(nèi)圍鍍的產(chǎn)品膜厚要薄很多,色差太大,請(qǐng)各位大俠幫忙一下,如何改善.謝謝!!!
     
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    離線flyinlove79
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2005-09-09
    首先檢查靶材表面磁場(chǎng)是否均勻，如果相差太大，濺射率相差會(huì)很大，就需要調(diào)整磁場(chǎng)分布。另外可在靶材前面放置一個(gè)修正板限制某些濺射率較大的位置。
    離線leilinna
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2008-11-20
    請(qǐng)問樓上前輩：這塊修正板應(yīng)該是什么材料？如何放置呢？