我們用光馳OTFC-1100機(jī)器做的窄帶,用間控光控控制,晶控輔助。SiO2,Ta2O5,材料。要求中心
波長(zhǎng)在1071nm,半波帶寬20nm。
]d;/6R+Vs 本來(lái)是成熟膜系,已經(jīng)做了有2年時(shí)間了,一直很穩(wěn)定,
9>Z#o<*_/ 但是最近出現(xiàn)膜系無(wú)規(guī)律漂移現(xiàn)象,中心波長(zhǎng)或漂移向長(zhǎng)波,或短波,漂移距離從4--20nm。
5/VB'N#7s 本來(lái)出現(xiàn)漂移也是正,F(xiàn)象,但是現(xiàn)在是完全無(wú)規(guī)律啊,有可能連續(xù)3罩次是沒有變化的,也有可能是每罩次都不一樣。
=-&iF 最開始懷疑是單色儀出問(wèn)題,也就是控制波長(zhǎng)不準(zhǔn)確。送廠檢測(cè),用廠家來(lái)替換的單色儀做了幾次,還是一樣。