我們用光馳OTFC-1100機(jī)器做的窄帶，用間控光控控制，晶控輔助。SiO2,Ta2O5,材料。要求中心波長(zhǎng)在1071nm,半波帶寬20nm。 D{h1"q  
本來(lái)是成熟膜系，已經(jīng)做了有2年時(shí)間了，一直很穩(wěn)定， <DiD8")4  
但是最近出現(xiàn)膜系無(wú)規(guī)律漂移現(xiàn)象，中心波長(zhǎng)或漂移向長(zhǎng)波，或短波，漂移距離從4--20nm。 |x2>F   
本來(lái)出現(xiàn)漂移也是正�，F(xiàn)象，但是現(xiàn)在是完全無(wú)規(guī)律啊，有可能連續(xù)3罩次是沒(méi)有變化的，也有可能是每罩次都不一樣。 eb2~$ ,$  
最開(kāi)始懷疑是單色儀出問(wèn)題，也就是控制波長(zhǎng)不準(zhǔn)確。送廠檢測(cè)，用廠家來(lái)替換的單色儀做了幾次，還是一樣。 +O}6 8N  
廠家說(shuō)可能 是光控托盤有問(wèn)題，換了一個(gè)，還是一樣。 oJR0sbikP  
其后還做了很多工作，都沒(méi)有解決問(wèn)題， gpsEN(.w  
在這里請(qǐng)教各位同行，誰(shuí)做窄帶，或者用光馳機(jī)器出現(xiàn)這種情況的是什么原因，怎么解決的？ RG[3LX/  
先謝過(guò)啦。

要是蒸鍍過(guò)程沒(méi)有問(wèn)題，看下供電穩(wěn)定不，冷卻水是否有問(wèn)題。我遇到過(guò)冷卻水臟了，導(dǎo)致的成膜不穩(wěn)定

dumoty:要是蒸鍍過(guò)程沒(méi)有問(wèn)題，看下供電穩(wěn)定不，冷卻水是否有問(wèn)題。我遇到過(guò)冷卻水臟了，導(dǎo)致的成膜不穩(wěn)定 (2015-04-13 13:28)  iKN~fGR
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哦？這個(gè)倒是沒(méi)考慮過(guò)，但我們冷卻水是定期換的啊

那你的膜料的質(zhì)量怎樣？純度、顆粒度等是不是和原來(lái)的那種膜料一樣？

這個(gè)原因太多了，你先要確定你鍍膜滴標(biāo)準(zhǔn)要是一致滴，如果你確定你幾沒(méi)問(wèn)題，你可以在沒(méi)鍍一傘前把你監(jiān)控片，和監(jiān)控器確認(rèn)一下等，如果有需要可以我愿意和您一起探討解決。