我們用光馳OTFC-1100機(jī)器做的窄帶,用間控光控控制,晶控輔助。SiO2,Ta2O5,材料。要求中心
波長(zhǎng)在1071nm,半波帶寬20nm。
k5+]SG`]] 本來是成熟膜系,已經(jīng)做了有2年時(shí)間了,一直很穩(wěn)定,
l54|Q 但是最近出現(xiàn)膜系無規(guī)律漂移現(xiàn)象,中心波長(zhǎng)或漂移向長(zhǎng)波,或短波,漂移距離從4--20nm。
L&Qi@D0P 本來出現(xiàn)漂移也是正,F(xiàn)象,但是現(xiàn)在是完全無規(guī)律啊,有可能連續(xù)3罩次是沒有變化的,也有可能是每罩次都不一樣。
e&X>F"z2 最開始懷疑是單色儀出問題,也就是控制波長(zhǎng)不準(zhǔn)確。送廠檢測(cè),用廠家來替換的單色儀做了幾次,還是一樣。
7y*ZXT]f 廠家說可能 是光控托盤有問題,換了一個(gè),還是一樣。
CBD_a#K{ 其后還做了很多工作,都沒有解決問題,
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