摘要：用部分補(bǔ)償法檢測(cè)非球而時(shí)部分補(bǔ)償透鏡的優(yōu)化設(shè)計(jì)是關(guān)鍵技術(shù)之一，針對(duì)這一難點(diǎn)提出了一種以剩余波前斜率作為優(yōu)化目標(biāo)的基于Zemax的部分補(bǔ)償透鏡設(shè)計(jì)方法分析了剩余波前斜率與干涉條紋密度以及彌散圓之間的關(guān)系得到了彌散圓可以定量表征剩余波前斜率的結(jié)論并將彌散圓半徑作為優(yōu)化函數(shù)針對(duì)3種不同參數(shù)的非球面進(jìn)行了部分補(bǔ)償透鏡的優(yōu)化設(shè)計(jì)設(shè)計(jì)結(jié)果表明該方法可在保證干涉條紋可探測(cè)的前提下簡(jiǎn)單、快速、全面直觀地實(shí)現(xiàn)部分補(bǔ)償透鏡的優(yōu)化設(shè)計(jì)減小剩余波前斜率降低干涉條紋密度從而擴(kuò)大干涉儀可測(cè)非球面面形誤差的測(cè)量范圍提高可測(cè)的空間頻率。
