現(xiàn)在在PMMA基板上鍍AR膜，使用Leybold真空
鍍膜機(jī)，
電子槍蒸發(fā)方式，選用Ta2O5和SiO2作為鍍膜
材料；會(huì)出現(xiàn)膜裂和脫膜現(xiàn)象，使用3M膠帶拉，膜層幾乎全部脫落；鍍膜前基板未經(jīng)清洗處理，在真空室中加熱到50℃，然后停止加熱，開始鍍膜，鍍膜整個(gè)過(guò)程中溫度未超過(guò)50℃。
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46Yc 求大神指點(diǎn)，如何改善
工藝才能解決膜裂和脫膜的問(wèn)題，非常感謝！
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