對于高平行度透/反射類元件,在布儒斯特角或者正入射情況下檢測時會出現(xiàn)因為后表面多次反射而產生的自
干涉條紋問題,形成多組自干涉條紋,測試干涉條紋和自干涉條紋相互疊加。在測試的干涉條紋中帶有很明顯的自干涉條紋,造成最終的檢測波面出現(xiàn)數(shù)據(jù)的丟失,會嚴重影響到面形的計算。
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2C/#8F 為了防止檢測時候自干涉條紋的產生,一般都在加工時候使
光學元件前后兩個面的楔角大于1′,這樣就能防止后表面的多次反射產生的影響,但是對于一些特殊要求的
光學元件,平行度要求都比較高(優(yōu)于20″或更。@就要求通過合適的檢測方法來解決自干涉條紋的問題。
?3a:ntX h !8OgaMngzF 對于反射類的高平行度光學元件,檢測的時候可以在后表面涂凡士林,可以防止自干涉條紋的影響,但是對于透射/反射類
鍍膜元件,后表面涂凡士林會對表面的質量造成污損,所以無法采用這種方法進行檢測。
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