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[求助]關(guān)于ar膜溫飄 [復(fù)制鏈接]

只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2015-12-26

鍍膜完成后放置兩天。出現(xiàn)溫飄較為嚴(yán)重的現(xiàn)象。除了設(shè)計(jì)時(shí)移薄還有什么方法解決

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離線yzhuang

只看該作者 1樓發(fā)表于: 2016-01-03

加離子源，鍍膜基底溫度升高

只看該作者 2樓發(fā)表于: 2016-01-04

以前基本也遇到過(guò)
然后把要求的余量做大就好了，基本是要求基礎(chǔ)上的+/-30nm左右即可，不關(guān)均勻性或者溫飄情況下都能保證滿足要求啊
控制好鍍膜環(huán)境

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