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    [分享]用于小零件圖像測量的雙遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

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    離線siom_leo
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    只看該作者 50樓 發(fā)表于: 2018-10-12
    先看看，學(xué)習(xí)下
    離線cyibao
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    只看該作者 51樓 發(fā)表于: 2018-10-12
    提升. 本文分析了當(dāng)前集成電路裝備制造業(yè)對193nm投影物鏡的需求,闡述了曝光系統(tǒng)設(shè)計(jì)、光學(xué)元件被動支撐、位姿調(diào)節(jié)、主動變形、元件更換和系統(tǒng)數(shù)值孔徑調(diào)節(jié)等物鏡光機(jī)系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究現(xiàn)狀,提煉了阻礙物鏡未來發(fā) 度位姿標(biāo)定問題,形成完備的物鏡研制方
    離線wangguolu33
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    只看該作者 52樓 發(fā)表于: 2018-12-04
    光學(xué)鏡頭
    離線小熊小豆
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    只看該作者 53樓 發(fā)表于: 2019-02-19
    學(xué)習(xí)一下
    離線cgl155410
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    只看該作者 54樓 發(fā)表于: 2019-02-21
    學(xué)習(xí)下,謝謝分享
    離線yanguestc
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    只看該作者 55樓 發(fā)表于: 2019-02-21
    學(xué)習(xí)下,謝謝分享
    離線生潤
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    只看該作者 56樓 發(fā)表于: 2019-03-01
    看一看，學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)
    離線18896586786
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    只看該作者 57樓 發(fā)表于: 2019-03-01
    have a look,thank you. VD7i52xS  
    離線zhengbin
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    只看該作者 58樓 發(fā)表于: 2019-03-30
    學(xué)習(xí)下,謝謝分享
    離線蠊蠊
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    只看該作者 59樓 發(fā)表于: 2019-05-23
    學(xué)習(xí)一下下