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教程570（3.0） ]*b}^PQM^
e`gO c* 關(guān)鍵詞： 傅里葉模態(tài)法，F(xiàn)MM，迭代傅里葉變換算法，IFTA，1維，光柵，二元，改進(jìn)，高數(shù)值孔徑，效率，一致性 .<ux Z
uLFnuK 1. 簡(jiǎn)介 wV\;,(<x=%
IO/%X;Y_ 1) 本示例主要介紹了1：6二元衍射分束器元件的嚴(yán)格參數(shù)優(yōu)化。 .
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f44b=,Lry5 2. 摘要 7g@P$e]
!J<}=G5 1) 衍射光束分光器件是一種典型的計(jì)算機(jī)優(yōu)化光柵，用于將單激光光束分束成具有確定功率的預(yù)期衍射級(jí)次的多光束。 ={_.} 2) 衍射分光器的優(yōu)化一般采用迭代傅里葉變換算法。 Th1/Bxb:
3) 然而基于近似值的設(shè)計(jì)步驟對(duì)于大的衍射角度和波長(zhǎng)范圍內(nèi)的特征尺寸是無(wú)效的。 29eg.E
4) 該教程主要示范： kT|{5Kn&s 利用迭代傅里葉變換算法對(duì)高數(shù)值孔徑1：6光束分光器的優(yōu)化。 S-)mv'Al'F 利用傅里葉模態(tài)法對(duì)光束分束器進(jìn)行嚴(yán)格的電磁場(chǎng)分析。 MR8\ '0] 自定義優(yōu)化函數(shù)用于衍射級(jí)次評(píng)價(jià)及優(yōu)化。 n27df 9L 使用參數(shù)優(yōu)化改善光束分束器表面并使用傅里葉模態(tài)法進(jìn)行分析。 ch2Q
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