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案例315（3.1）

該應(yīng)用案例說(shuō)明了兩個(gè)不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長(zhǎng)線柵結(jié)構(gòu)。兩個(gè)系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長(zhǎng)和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。

1. 線柵偏振片的原理

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