摘要：為了在激光退火工作面上獲得高均勻度光斑，研究了雙復(fù)眼透鏡陣列光束勻化法中兩透鏡陣列間相對位置變化對勻化性能的影響。利用光線追跡方法，模擬了雙復(fù)眼透鏡陣列間 6 個自由度的相對位置誤差與光束勻化效果的依賴關(guān)系，發(fā)現(xiàn)第二復(fù)眼透鏡陣列的滾轉(zhuǎn)角偏差是影響光束勻化質(zhì)量的最敏感因素。為實(shí)現(xiàn)較好的勻化效果， 需要對復(fù)眼透鏡陣列位置進(jìn)行精確控制。結(jié)果表明，使用專用鏡架對透鏡位置進(jìn)行精確控制后， 光束均勻度達(dá)到 0． 039。該系統(tǒng)成功應(yīng)用于激光退火裝置，實(shí)現(xiàn)了超淺結(jié)激光退火。
