先做厚一點的單層(越厚越好),測分光曲線。 >Qg 9KGk'
然后用麥克勞德或者TFC算折射率。 G.[,P~yy.
算出來的折射率再用來做設(shè)計。 1?j['~aE
然后自己再根據(jù)實際曲線慢慢修。 !Ey=
Q>[Xm)jr:
我以前做的380~800 反射率不超過0.3%。 a }m>
設(shè)計是8層TiO2/SiO2,是一個W型的曲線。 kvo V?<!
我的經(jīng)驗是TIO2折射率越高開口越寬,越好做。 r#;GVJR6
但是折射率高的話,就需要用到好的離子源。 |A0)-sVZ
光馳機或者新柯隆機應(yīng)該能做出來。 *sbZ{{]e