橢偏儀原理以及應(yīng)用
^d9raYE`' 摘要： 橢偏測量技術(shù)通過測量光在介質(zhì)表面反射前后偏振態(tài)變化，獲得
材料的
光學(xué)常數(shù)和結(jié)構(gòu)信息。本文主要介紹了橢偏儀的背景概述、光學(xué)原理。并對行業(yè)最前沿最高端的的雙旋轉(zhuǎn)穆勒矩陣橢偏儀進(jìn)行功能概述，希望對廣大的技術(shù)從業(yè)人員會有幫助。
.V3Dql@z" 關(guān)鍵詞：橢偏儀、橢偏儀原理、穆勒矩陣橢偏儀
)/Xrhhx 
3rY /6{ 概述
2A%T!9J3 橢偏測量技術(shù)通過測量光在介質(zhì)表面反射前后偏振態(tài)變化，獲得材料的光學(xué)常數(shù)和結(jié)構(gòu)信息，具有測量精度高，非接觸，無破壞且不需要真空。
x!~OK::o8 FqsjuU@l 自從1887年，德魯?shù)绿岢鰴E偏理論，建立了世界上第一套實(shí)驗(yàn)裝置并成功地測量了18種金屬的光學(xué)常數(shù)起，1945年，Rothen第一次提出了橢偏儀一詞。之后，橢偏儀有了很大的發(fā)展，被廣泛應(yīng)用于
薄膜測量這一領(lǐng)域。根據(jù)橢偏儀的工作原理，主要分為消光式和光度式兩類。在普通橢偏儀的基礎(chǔ)上，橢偏
光譜儀、紅外橢偏光譜儀、成像橢偏儀和廣義橢偏儀又發(fā)展出來。
O|RO
j lDU:EJ&DHE 2 橢偏儀的測量原理
W[>Tq
