一、引言 D{c`H}/`  
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電荷耦合器件（CCD）是以電荷為信號載體的傳感器，屬于集成光電傳感器，主要應(yīng)用于光電圖像的傳感。自從CCD于1970年首先在美國研制成功，它就一系列與眾不同、無可比擬的優(yōu)勢就顯示出來：靈敏度高、幾何尺寸精確、光譜響應(yīng)寬、動態(tài)范圍大、操作容易、維護(hù)方便等。一般說來，CCD輸出信號有以下幾個特點: H1+
G:TM  
(1)能夠輸出與光像位置相對應(yīng)的時序信號。 =*}|y;I  
(2)能夠輸出各個脈沖彼此獨立相間的模擬信號。 8USF;k  
(3)能夠輸出反映焦點面信息的信號。 OD{Rh(Id  
我們將光源、光學(xué)系統(tǒng)與這三個特點相結(jié)合，可以實現(xiàn)尺寸的測量。而尺寸的測量在一些場合時非常有必要的，特別是高精度尺寸測量。在工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)實驗中，經(jīng)常碰到微小尺寸的檢測問題，如細(xì)絲、薄板、狹縫等，不僅費時費力，而且精度較低，不便于實時檢測、顯示和控制，其應(yīng)用范圍也受到一定的限制⋯。近年來，利用線陣CCD進(jìn)行無接觸一維測量已經(jīng)得到廣泛應(yīng)用。線陣CCD器件具有許多優(yōu)點： A!SHt7ysJ  
（1）非接觸式，避免對所測器件的損傷。 >*EcX