摘要：針對自由曲面光學(xué)元件離軸像差小，應(yīng)用廣泛，但檢測難度大，加工精度不夠高等特點，對現(xiàn)行的自由曲面光學(xué)檢測方法進(jìn)行了分析。提出了在自由曲面光學(xué)元件的不同加工階段宜采用不同的檢測手段，根據(jù)加工的步驟依次采用三坐標(biāo)機(jī)、輪廓儀、光學(xué)干涉測量等方法為好。介紹了子孔徑拼接技術(shù)的發(fā)展，敘述了利用計算全息 (CGH)和反射光柵攝影測量法檢測光學(xué)自由曲面等兩種有著良好發(fā)展前景的方法。最后 ,給出了利用 CGH檢測三次位相板的實例。 y8~/EyY|^
